《计算机学报》文章摘要   全文下载
文章题目	基于元胞自动机算法的三维玻璃微流控芯片湿法刻蚀模拟研究
作者	杜立群1) 李璞2) 刘军山3)
作者单位	1)(大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室 辽宁大连 116023) 2) (大连理工大学创新实验学院 辽宁大连 116023) 3)(大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室 辽宁大连 116023)
发表年份	2008
发表月份	5期(868—874)
文章摘要	摘要 以二维动态元胞自动机理论为基础，提出一种针对玻璃各向同性刻蚀特性的三维动态元胞自动机(Cellular automata)算法.利用创建刻蚀链表的方式代替传统的元胞搜索，提高了算法效率，并通过改进元胞信息的存储方式，使得三维元胞阵列得以存储于二维矩阵中.最后利用OpenGL技术对刻蚀结果进行三维成像.该算法在个人计算机上实现了较高分辨率(4000×4000像素)的三维刻蚀模拟与显示.通过对比玻璃刻蚀的实验结果和前人的研究评估模型，模拟结果完全能够实现对刻蚀结果的预测.文中的研究表明：建立的三维元胞自动机算法可以有效地应用于玻璃刻蚀过程的模拟. 关键词：玻璃芯片；湿法刻蚀；元胞自动机；OpenGL三维成像;计算机模拟